7月8日消息,從沙大家都知道,變處硅是理器一切芯片的根基。硅最常見(jiàn)的總共來(lái)源,就是分步海灘上最不起眼的沙子。
但從一粒普通的從沙石英砂到可承載數(shù)十億晶體管的硅晶圓,需要經(jīng)歷一場(chǎng)跨越物理與化學(xué)邊界的變處人生。
第一步:從石英砂到冶金級(jí)硅,理器劈開(kāi)硅與氧的總共緊密聯(lián)結(jié)
硅元素在自然界中以二氧化硅(SiO₂)形態(tài)存在,地球上含量極高。分步 雖然普通的從沙沙子也能用來(lái)提煉硅,不過(guò)現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為了追求更高純度,變處主要使用的理器含硅純度極高的“石英砂”又稱為“硅砂”,這種材料主要來(lái)自風(fēng)化后的總共花崗巖與石英脈礦。
其硅含量高達(dá)95%,分步不僅雜質(zhì)少,物理結(jié)構(gòu)也更適合熔煉與晶體成長(zhǎng),是自然界中硅元素最純凈的 “天然倉(cāng)庫(kù)”。
二氧化硅中的硅與氧原子結(jié)合得非常緊密,無(wú)法直接使用,必須先經(jīng)過(guò)高溫還原。 這個(gè)過(guò)程通常會(huì)在大型電弧爐中進(jìn)行,將二氧化硅、碳(如煤炭和木屑)在高達(dá)1800°C 的高溫作用下,產(chǎn)生還原反應(yīng):SiO₂ + 2C → Si + 2CO↑
反應(yīng)生成的固態(tài)產(chǎn)物被稱為冶金級(jí)硅,純度約 98-99%。這一步就像從礦石中初煉出金屬,雖已脫離天然形態(tài),卻仍帶著大量雜質(zhì),僅能用于煉鋼、制造合金等工業(yè)領(lǐng)域。全球每年數(shù)百萬(wàn)噸的冶金級(jí)硅中,只有不到1%能進(jìn)入下一段旅程。
第二步:從冶金級(jí)硅到多晶硅,提純至11個(gè)9的純凈
要成為半導(dǎo)體的 “基石”,硅的純度必須達(dá)到驚人的高度。冶金級(jí)硅首先與氯化氫反應(yīng),轉(zhuǎn)化為液態(tài)的三氯硅烷(SiHCl₃), 這一步如同將粗糖溶解成糖漿,讓雜質(zhì)更容易被分離。
隨后,三氯硅烷進(jìn)入 “西門(mén)子法(Siemens Process)” 的提純環(huán)節(jié):在 1100°C 的鐘形反應(yīng)爐中,經(jīng)過(guò)蒸餾凈化的三氯硅烷被氣化還原,硅原子逐漸沉積在爐內(nèi)的載體上,形成高純度的多晶硅棒。
最終得到的多晶硅純度高達(dá) 99.999999999%(11個(gè)9),就像黑糖被反復(fù)精煉成晶瑩的白砂糖。這種近乎完美的純凈度至關(guān)重要,哪怕百萬(wàn)分之一的雜質(zhì),都可能導(dǎo)致后續(xù)芯片失效。
至此,硅終于擺脫了 “工業(yè)材料” 的身份,成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的 “候選者”。
第三步:從多晶硅到單晶硅棒,讓原子排列成 “紀(jì)律部隊(duì)”
多晶硅雖純,內(nèi)部原子卻像雜亂的人群;而芯片需要原子排列整齊的 “單晶結(jié)構(gòu)”,這就需要 “柴可拉斯基法(Czochralski Process)” 登場(chǎng)。
多晶硅被放入坩堝中加熱至1420°C 熔化,一根單晶硅制成的 “晶種棒” 緩慢插入熔融的硅液中,同時(shí)精確控制旋轉(zhuǎn)與拉升速度。
就像制作棉花糖時(shí),糖漿會(huì)順著竹簽的方向形成有序的糖絲,硅原子也會(huì)沿著晶種的排列方式逐漸 “生長(zhǎng)”,最終形成一根圓柱形的單晶硅棒。這根硅棒的原子排列如同訓(xùn)練有素的隊(duì)列,為后續(xù)芯片的電學(xué)性能奠定了基礎(chǔ)。
第四步:切割與加工,從硅棒到硅晶圓
單晶硅棒需要經(jīng)過(guò)切割、研磨、拋光等一系列 “精修”:先被切割成厚度僅0.5毫米左右的薄片,再通過(guò)精密研磨去除表面損傷,最后用化學(xué)拋光將表面處理到納米級(jí)平整 。
這些薄如蟬翼的圓片,就是我們所說(shuō)的 “硅晶圓”。目前全球硅晶圓市場(chǎng)主要由日本信越化學(xué)、勝高和中國(guó)臺(tái)灣環(huán)球晶掌控,其中信越化學(xué)占據(jù)三成以上份額,是臺(tái)積電等頂級(jí)代工廠的核心供應(yīng)商。
第五步:從硅晶圓到芯片,微觀世界的 “造芯術(shù)”
最后,從硅晶圓到芯片,是一場(chǎng)更精密、更復(fù)雜的 “微觀雕刻”。如果說(shuō)硅晶圓是芯片的 “毛坯”,那么芯片制造就是在這薄片上進(jìn)行“裝修“”,用納米級(jí)精度 “繪制” 數(shù)十億個(gè)晶體管,并構(gòu)建起復(fù)雜的電路網(wǎng)絡(luò)。
這一過(guò)程涉及上百道工序,核心可濃縮為五大關(guān)鍵階段:
1、預(yù)處理:給 “毛坯” 穿層 “防護(hù)衣”
硅晶圓雖已足夠平整,卻需先經(jīng)過(guò)嚴(yán)格清洗,去除表面殘留的微小顆粒和金屬雜質(zhì) ,哪怕 0.1 微米的雜質(zhì)都可能毀掉后續(xù)電路。清洗干凈后,晶圓會(huì)被送入高溫爐,表面與氧氣反應(yīng)生成一層二氧化硅薄膜,這層薄膜既是絕緣層,也是后續(xù)工序的 “防護(hù)盾”。
2、光刻:用 “光” 畫(huà)出納米電路圖
這一步是芯片制造的 “靈魂”。先在晶圓表面涂上感光的光刻膠,再用光刻機(jī)(如 EUV 光刻機(jī))將設(shè)計(jì)好的電路圖案投射到膠上。曝光后的光刻膠會(huì)發(fā)生化學(xué)變化,經(jīng)顯影后,電路圖案就像 “模板” 一樣留在晶圓上,精度可達(dá)納米級(jí)(如 3nm 制程,線條比頭發(fā)絲細(xì)幾萬(wàn)倍)。
3、刻蝕與摻雜:雕出能 “開(kāi)關(guān)” 的晶體管
刻蝕:按光刻的 “模板”,用等離子體或化學(xué)溶液 “腐蝕” 掉未被保護(hù)的部分,把電路圖案永久刻在硅片上,形成凹槽、導(dǎo)線等結(jié)構(gòu)。
摻雜:向硅中注入微量雜質(zhì)(如硼、磷),讓局部區(qū)域變成能導(dǎo)電的 “半導(dǎo)體”,最終形成晶體管——芯片的 “基本開(kāi)關(guān)”,能實(shí)現(xiàn)電信號(hào)的通斷。
4、金屬化:連接數(shù)十億 “開(kāi)關(guān)”
單個(gè)晶體管無(wú)法工作,需用金屬(如銅)通過(guò) “薄膜沉積” 技術(shù),在晶圓表面形成導(dǎo)線,將數(shù)十億個(gè)晶體管按電路設(shè)計(jì)連接起來(lái),構(gòu)成完整的運(yùn)算網(wǎng)絡(luò)。
5、切割與測(cè)試:從 “圓片” 到 “芯片”
最后,晶圓會(huì)被切割成一個(gè)個(gè)獨(dú)立的芯片,經(jīng)嚴(yán)格測(cè)試篩選出合格產(chǎn)品,封裝后就成了我們熟悉的芯片。 手機(jī)、電腦里的 “大腦” 就此誕生。
從硅晶圓到芯片,每一步都是對(duì)精度的極致追求,納米級(jí)的操作讓一片薄薄的硅片,最終擁有了強(qiáng)大的運(yùn)算能力。
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