6月30日消息，超強心臟在衛(wèi)星激光通信中，國衛(wèi)光通光束控制精度關(guān)乎通信質(zhì)量，星激信問快速反射鏡猶如“精密心臟”。世僅

近日，枚元中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研制出集成角度傳感器的硬幣高性能MEMS快反鏡，鏡面尺寸大、超強心臟封裝體積小，國衛(wèi)光通性能優(yōu)良，星激信問在激光衛(wèi)星通信方面潛力巨大。世僅

該快反鏡歷經(jīng)近五年才研制成功，枚元采用雙層異構(gòu)集成與晶圓級鍵合工藝，硬幣體積僅一枚1元硬幣大小。超強心臟

封裝后的國衛(wèi)光通MEMS快反鏡

它攻克傳統(tǒng)機械快反鏡和原有MEMS快反鏡的技術(shù)瓶頸，打造出航天級產(chǎn)品，星激信問指向精度達μrad量級，滿足星載應(yīng)用的超高性能指標。

受手機屏幕啟發(fā)，團隊利用硅壓阻應(yīng)變原理集成片上角度傳感器，通過結(jié)構(gòu)創(chuàng)新使靈敏度提升63%，優(yōu)化光束控制精確性。

測試結(jié)果表明，在特定頻率下，角度精度達標，最大動態(tài)表面形變僅2納米。

官方打了一個比方，這就相當于在足球場大小的鏡面上，所有起伏不超過一根頭發(fā)絲的直徑，滿足遠距離衛(wèi)星激光通信對鏡面面型的嚴苛要求。